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物理气相沉积(PVD)技术简介

发布时间:2015-12-29 08:48:07 作者:服务地方研究院 来源:服务地方研究院
1. 技术特点
PVD 涂层技术是一种发展迅速的表面工程技术, 可以用来制备厚度从0.003mm~0.005mm,各种特殊物理性能的薄膜涂层,如超硬、耐腐蚀、耐高温、减少摩擦等. 应用面宽,性能多样,表面光洁度好;效率高,工艺温度低,对基材无影响;绿色环保。
具体不同成分性能如表1 所示。

表1 不同成分硬质薄膜性能简介表

2. 应用方向与实例:

具体应用情况如下表所示

                                                                                                                                                      冷冲模具热挤压模具
Pvd 激光微弧氧化热喷涂
3. 主要科研人员简介
马胜利,男,1965 年生,博士,教授,博士生导师。2001 年西安交通大学博士毕业,
2003 年西北工业大学博士后出站,2004 年入选教育部首批新世纪优秀人才支持计划,并
分别于2002 年11 月、2003 年4 月在德国慕尼黑工业大学进修;2004 年7 月在慕尼黑工
业大学和巴黎高等工业技术学院短期交流;2006 年7-9 月在香港城市大学合作研究。兼

中国真空学会薄膜专业委员会委员、中国机械工程学会表面工程分会委员兼副总干事等。

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